【摘 要】
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据美国照明工业公司报道:该公司专门为高性能光刻机及在片子上直接分步(DSW)投影机而设计的汞弧灯(350-7429),具有非常严密的体积容限和一个纯净的石英外罩,能保证照度的均
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据美国照明工业公司报道:该公司专门为高性能光刻机及在片子上直接分步(DSW)投影机而设计的汞弧灯(350-7429),具有非常严密的体积容限和一个纯净的石英外罩,能保证照度的均匀。该灯的输出功率能进行严格
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