铅掺杂对钛酸锶钡铁电薄膜性能的影响

• 作 者: 丁士华 杨晓静
• 机 构: 西华大学材料科学与工程学院,西华大学能源与环境学院
• 出 处: 西华大学学报：自然科学版
• 发表日期: 2006年6期
• 关键词: 掺杂 介电常数 介电损耗 dopantdielectric constantdielectric loss.
• 基金项目: 国家973计划项目（编号：2002CB613302）,校人才引进项目（编号：R0620109）

采用溶胶-凝胶法在Pt／Ti／SiO2／Si（100）村底上制备了末掺杂和掺铅的钛酸锶钡（BST）薄膜，研究了铅的加入对BST薄膜的结构和电学性能的影响。实验结果表明：随着铅的加入量的增加，BST薄膜的晶粒尺寸增大；在同一频率下，介电常数呈增大趋势。在测试频率低于50kHz时，介电常数和介电损耗急剧降低。