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来源 :无机材料学报 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
采用涂覆热分解氯化钌的方法,在金属钽壳内壁表面形成二氧化钌薄膜涂层,作为钽电容器的负极材料,可以提高全钽电容器的寿命及可靠性.采用扫描电子显微镜和X射线衍射仪对二氧
【作 者】
:
甘卫平
刘继宇
刘泓
李祥
马贺然
【机 构】
:
中南大学材料科学与工程学院
【出 处】
:
无机材料学报
【发表日期】
:
2010年8期
【关键词】
:
钽电容器
二氧化钌
薄膜电极
tantalum capacitors
ruthenium dioxide(RuO_2)
thin film electrod
【基金项目】
:
国家863高技术项目(2007AA03Z240)
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