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【摘 要】
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光刻是集成电路制造的核心技术,光刻工艺成本已经超出集成电路制造总成本的三分之一.在集成电路制造的诸多工艺单元中,只有光刻工艺可以在硅片上产生图形,从而完成器件和电路
【出 处】
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中国信息化
【发表日期】
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2021年1期
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