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利用反射一傅立叶变换红外光谱法对铝阳极氧化膜厚度进行了无损测定。结果表明：常温环境下，以金镜为本底，用傅立叶变换红外光谱仪扫描铝阳极氧化膜的反射光谱，由于入射到膜的内外层表面的反射光达到一定相位差时会引起干涉，通过反射光谱的干涉条纹，利用公式计算出氧化膜的厚度。该方法操作简便，测定速度快，应用于实际样品的无损测定，结果满意。