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【摘 要】
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在经典衍射理论中，Si(200)，Si(222)等4n+2面的反射是消光的，但在单晶硅或硅基材料中，常发现Si(200)，Si(222)的衍射．考虑非谐效应和电子云反对称分布的贡献，分别计算了Si(200)，Si(222)
【机 构】
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西南交通大学理学院,四川大学材料科学与工程学院
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2004年10期
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