【摘 要】
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沈阳芯源公司是中科院沈阳自动化所引进韩国技术创立的集成电路装备企业,主营产品是光刻工艺中的匀胶显影设备。芯源创立3年来取得了很大的发展,产品已成功销往中芯国际(SMIC
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沈阳芯源公司是中科院沈阳自动化所引进韩国技术创立的集成电路装备企业,主营产品是光刻工艺中的匀胶显影设备。芯源创立3年来取得了很大的发展,产品已成功销往中芯国际(SMIC)等用户。SEMICON CHINA 2006展会期间,我们在沈阳芯源公司的展位上专访了芯源公司总经理宗润福。
Shenyang Core source is the Chinese Academy of Sciences, Shenyang, South Korea introduced automation technology to create the integrated circuit equipment companies, the main product is lithography process in the plastic imaging equipment. Since its founding 3 years ago, Coresource has made great progress and its products have been successfully sold to SMIC and other users. During the SEMICON CHINA 2006 exhibition, we interviewed Zong Runfu, the general manager of Core Sources, at the booth of Shenyang Core Source Company.
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