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研究了采用金属有机化合物热分解（ＭＯＤ）法制备锆钛酸铅Ｐｂ（Ｚｒ０．５２Ｔｉ０．４８）Ｏ３铁电薄膜的工艺及ＰＺＴ薄膜的介电性能，利用ＸＲＤ分析了薄膜的结晶过程，制得具有钙钛矿结构的ＰＺＴ薄膜，铂电极有利于钙钛矿相的形成，薄膜的介电温谱研究结果表明，薄膜的居里温度约为４３０℃（１ＫＨｚ）。
采用MOD工艺制备PZT铁电薄膜及其性能
【摘 要】
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研究了采用金属有机化合物热分解（ＭＯＤ）法制备锆钛酸铅Ｐｂ（Ｚｒ０．５２Ｔｉ０．４８）Ｏ３铁电薄膜的工艺及ＰＺＴ薄膜的介电性能，利用ＸＲＤ分析了薄膜的结晶过程，制得具有钙钛矿结构的ＰＺＴ薄膜，铂电极有利于钙钛矿相的形成，薄膜的介电温
【机 构】
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天津大学电子信息工程学院
【出 处】
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天津大学学报：自然科学与工程技术版
【发表日期】
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2000年3期
【基金项目】
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天津市自然科学基金! (98360 12 11)
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