新一代近室温光电探测器(下)

来源 :红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ah20090907
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<正> 6.实用的近室温光电探测器图8以示意图方式示出了单片光学浸没光电探测器的结构。图9示出了实际的光学浸没光电探测器。(Hg,Cd,Zn)Te光敏象元是在计算机控制的重复利用的生长系统中采用等温汽相外延法制备的。离子束工艺技术被广泛地用于器件技术中,包括象元刻划、在电接触金属化处理之前的表面激活以及p型至n型反型。采用超声和经典的机械制造技术在外延层的(Cd,Zn)Te衬底中形成浸没透镜。
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