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理论推导了使用参比法的超声检测二元混合气体的微量气体浓度的计算公式。基于超声传播在不同浓度的混合气体中具有微小时差的特性，设计了微量气体浓度检测系统。利用该系统对空气中六氟化硫（SF6）气体浓度进行了实验验证，验证结果与理论计算吻合，对空气中的六氟化硫来讲，检测的分辨率优于30×10^-6（V／V）。