【摘 要】
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在材料科学领域中,关于非晶碳氢膜的研究,三十年来国内外一直处于活跃时期,非晶碳氢(a-CH)膜系类金刚石结构,有着许多特殊性能,电阻率高,红外及可见区透明,电介性能好,硬度大
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在材料科学领域中,关于非晶碳氢膜的研究,三十年来国内外一直处于活跃时期,非晶碳氢(a-CH)膜系类金刚石结构,有着许多特殊性能,电阻率高,红外及可见区透明,电介性能好,硬度大,抗蚀性强,还可掺杂。在电子学器件,光学器件,生物工程及机械工程等方面,a-C:H膜都有美好的应用前景。采用直流射频辉光放电法在KCl衬底上制备的a-C:H膜,存放了四年也未发现性能发生变化,衍射象始终呈显晕环。红外谱峰值出现在2870,2930和2970cm~(-1)处,它们分别对应于对称SP~3CH_3,SP~3CH_2和C-H组
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