【摘 要】
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文中介绍X射线干涉仪在当前纳米测量技术中的重要意义，阐述了X射线干涉仪的基本原理，全面介绍了国外在该领域的研究现状，并利用He－Ne激光及三光栅系统对X射线干涉技术实现纳米测
【机 构】
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山东建材学院机械系!济南,250022
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文中介绍X射线干涉仪在当前纳米测量技术中的重要意义，阐述了X射线干涉仪的基本原理，全面介绍了国外在该领域的研究现状，并利用He－Ne激光及三光栅系统对X射线干涉技术实现纳米测量进行了模拟实验研究，进一步论证了X射线干涉纳米测量技术的可行性。
This paper introduces the importance of X-ray interferometer in the current nano-measurement technology, expounds the basic principle of X-ray interferometer, introduces the research status in foreign countries in this field, and analyzes the X-ray Interferometry technology to achieve nano-measurement simulation experiments to further demonstrate the feasibility of X-ray interference nano measurement technology.
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