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纳米计量和纳米定位是纳米技术的基础，是通向原子尺技术的关键。本文概述了纳米计量和定位技术的现状，分析了具有代表性的计量及定位方法及其特点，指出了它们未来的发展趋势。
纳米计量及定位技术简述
【摘 要】
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纳米计量和纳米定位是纳米技术的基础，是通向原子尺技术的关键。本文概述了纳米计量和定位技术的现状，分析了具有代表性的计量及定位方法及其特点，指出了它们未来的发展趋势。
【机 构】
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中科院长春光机所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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