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电子、光子和生物医学器件向小型化发展的趋势促进了激光微细加工的发展,而飞秒激光器是适于激光微细加工的最理想工具.飞秒激光脉冲具有制作小至几十纳米特征尺寸图形的加工本领,并能对透明材料进行各种微细加工,如钻孔、切割和形成特殊结构等.
飞秒激光开辟了新的微细加工领域
【摘 要】
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电子、光子和生物医学器件向小型化发展的趋势促进了激光微细加工的发展,而飞秒激光器是适于激光微细加工的最理想工具.飞秒激光脉冲具有制作小至几十纳米特征尺寸图形的加工
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2004年10期
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