【摘 要】
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综述了１９９４年以来国内外在ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ光波导及其器件结构、工艺等方面的最新研究进展
The latest research progress of GexSi1-x / Si optical waveguide and its device structure and t
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综述了１９９４年以来国内外在ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ光波导及其器件结构、工艺等方面的最新研究进展
The latest research progress of GexSi1-x / Si optical waveguide and its device structure and technology at home and abroad since 1994
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