电感耦合氩等离体(ICAP)中电子密度及电子温度的测量

来源 :武汉化工学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dojo1024

【摘要】

：

电子密度（ne）和电子温度（Te）是描述ICP放电特性的两个十分重要的参数。目前国内有关ICP机理方面的研究很少有报道,为了对国内在这方面的工作有所促进,木文

【作者】

：

艾军金泽祥陈琳何应律

【机构】

：

武汉化工学院分析教研室,中国地质大学应用化学系,中国地质大学应用化学系

【出处】

：

武汉化工学院学报

【发表日期】

：

1989年2期

【关键词】

：

电子温度 ICAP 电子密度放电特性电感耦合理沦激发温度基态能级推荐值操作参数

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电子密度（ne）和电子温度（Te）是描述ICP放电特性的两个十分重要的参数。目前国内有关ICP机理方面的研究很少有报道,为了对国内在这方面的工作有所促进,木文就ICP中ne和Te的测定从理论上进行了探讨,并根据有关文献所提供的有限数据经理沦计算,分别将与ne,和T<sub&

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