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【摘 要】
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该文详细地介绍了一种采用了先进单片机技术的激光细丝测量仪数据处理的基本原理及设计。这套系统的特点是测量范围宽0.1mm～10mm,分辨率高1μm,误差小于或等于5μm,测量一次只
【机 构】
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华北光电技术研究所激光部北京
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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1992年2期
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