Ⅲ-Ⅴ族半导体材料外延及其物理化学

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhipeng
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——本文概述了近年来Ⅲ-Ⅴ族半导体材料的外延,特别是有关电外延,金属有机化合物和分子束外延的国内外发展动态及其应用;同时也简要地介绍了Ⅲ-Ⅴ族化合物外延的物理化学. - This paper presents an overview of the epitaxial growth of Group III-V semiconductor materials in recent years, and in particular the developments at home and abroad concerning the application of electro-epitaxy, metal-organic compounds and molecular beam epitaxy and their applications. In the meantime, the epitaxy of Group III-V compounds Physical Chemistry.
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