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本文描述了Langmiur静电探针测量系统的构成,该系统可用于等离子体特性的诊断。用该系统检测了等离子体沉积Ti薄膜过程中电子密度与电子温度的典型值。实验表明,该系统性能良好,具有强的抗干扰能力,测量精度高、可以应用于真空电弧沉积过程的监控。
真空电弧沉积Ti薄膜过程的静电探针诊断
【摘 要】
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本文描述了Langmiur静电探针测量系统的构成,该系统可用于等离子体特性的诊断。用该系统检测了等离子体沉积Ti薄膜过程中电子密度与电子温度的典型值。实验表明,该系统性能良
【机 构】
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华中理工大学电力工程系,华中理工大学电力工程系武汉市430074,武汉市430074,武汉市430074
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1993年4期
【基金项目】
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国家教委回国人员基金
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