【摘 要】
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分析和讨论了圆弧形掩膜的曲率半径对平面结终端耐压特点的影响．首次通过解析的方法，推导出了在计及平面结横向曲率效应，即准三维效应的条件下，优化单场限环结构击穿电压的归一化
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分析和讨论了圆弧形掩膜的曲率半径对平面结终端耐压特点的影响．首次通过解析的方法，推导出了在计及平面结横向曲率效应，即准三维效应的条件下，优化单场限环结构击穿电压的归一化表达式，以及场限环间距的优化公式．本方法简便直观，可以直接用于场限环结构的优化设计．
The influence of radius of curvature of arc mask on the end pressure characteristics of plane junction was analyzed and discussed. For the first time, the normalized expression of the breakdown voltage of a single-field limiting ring structure and the optimization formula of the field-limiting ring spacing are derived under the condition of considering the effect of the plane junction transverse curvature, ie, the quasi-three-dimensional effect, . The method is simple and intuitive, and can be directly used to optimize the design of field-limiting ring structure.
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