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【摘 要】
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介绍了一种简单有效的微力，微位移天平测试方法，通过对薄型硅悬臂梁进行力一挠度特性测试进而提取材料杨氏模量的方法得简便，可行的，还介绍了用于测量薄膜应力的悬臂梁挠曲法，由于
【机 构】
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中科院上海冶金研究所传感器技术国家重点实验室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1997年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目59372094
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