【摘 要】
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提出了一种基于微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)薄膜芯片的低温红外场景生成技术,芯片本身是基于光加热的被动无源器件,因此可以将场景写入系统放在低温真
【机 构】
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北京理工大学光电学院,精密光电测试仪器与技术北京市重点实验室,蓝视光学科技（北京）有限责任公司
【基金项目】
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中国博士后科学基金第2批特别资助(站前)
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提出了一种基于微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)薄膜芯片的低温红外场景生成技术,芯片本身是基于光加热的被动无源器件,因此可以将场景写入系统放在低温真空舱外。在低温环境内没有电子器件和保温层的辐射干扰,无源芯片本身能模拟的最低温度可以无限接近于低温下的环境温度。建立了理论模型和实验装置,并对薄膜芯片在低温下的空间特性和时间特性进行了测试。在7.5~14μm波段,当入射到芯片处的光功率密度为0.0275 W/mm2时,环境温度从233 K降低到173 K,可
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