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用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作，可以得到比较理想的高聚物基生物芯片。采用248nm的KrF准分子激光器对PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）进行微细加工，探讨了准分子激光与PMMA相互作用的机理。进行了表面微通道制作和打孔实验，研究激光加工的工艺参数及加工质量的变化规律。结果表明，准分子激光蚀刻完全适合生物芯片的制作，而且加工过程简单，是一种行之有效的制作方法。