【摘 要】
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提出了用GC-MS-MID进行超高纯度气体分析方法,并应用这一技术对高纯He、H_2、Ar、N_2以及用于电子工业的高纯NH_3.PH_3、B_2H_6、HCl、BF_3、SiH_4等多种气体进行了测定。实
【机 构】
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化工部光明化工研究所,化工部光明化工研究所,化工部光明化工研究所 大连,大连,大连
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提出了用GC-MS-MID进行超高纯度气体分析方法,并应用这一技术对高纯He、H_2、Ar、N_2以及用于电子工业的高纯NH_3.PH_3、B_2H_6、HCl、BF_3、SiH_4等多种气体进行了测定。实验建立了一套中心切割真空进样系统,用填装5A分子筛、高分子多孔小球等的两根2m×2.2mm的不锈钢柱交替进行,测定几种组份的变异系数5—10％,检测限约为0.01ppm。
The method of GC-MS-MID for ultra-high purity gas was proposed and applied to high purity He, H_2, Ar, N_2 and high purity NH_3.PH_3, B_2H_6, HCl, BF_3, SiH_4 A variety of gases were measured. The experiment set up a set of center cutting vacuum sampling system, which was alternately performed with two 2m × 2.2mm stainless steel columns packed with 5A molecular sieve, macroporous porous beads and so on. The coefficient of variation of several components was determined to be 5-10% The detection limit is about 0.01ppm.
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