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本文从膜系设计、材料选择、制备工艺及测量,较全面地论述了10.6μm高能激光高反膜的研制过程。研制成一种性能良好的三元混合氟化物(BaF_2,SrF_2,CeF_3)低折射率材料,并对由此材料蒸镀的膜层进行了晶体结构分析。已研制出反射率分别达99.0％、99.3％和99.5％的保护银膜、增强银膜和高增强银膜等三种高能激光高反膜,反射率是用自行研制的测量装置测定的。