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SiC因其优良性能被誉为新一代的半导体材料,本文利用Materials Studio对6H-SiC进行了建模,对6H-SiC的能带和态密度进行了分析,此外,以6H-SiC为衬底,进行Al元素掺杂,从微观机制,分析了6H-SiC的半导体导电性能.
6H-SiC单晶材料的分子动力学分析
【摘 要】
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SiC因其优良性能被誉为新一代的半导体材料,本文利用Materials Studio对6H-SiC进行了建模,对6H-SiC的能带和态密度进行了分析,此外,以6H-SiC为衬底,进行Al元素掺杂,从微观机
【机 构】
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白城师范学院物理与电子信息学院
【出 处】
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白城师范学院学报
【发表日期】
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2017年2期
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