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集成硅热流量传感器
集成硅热流量传感器
来源 :测控技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mydearsun
【摘 要】
:
将传感器与电路集成在同一个芯片上具有体积小、噪声小等优点,因而收到了广泛的重视.本文介绍了硅热流量传感器的基本原理及发展状况,并针对电路和传感器集成的过程中出现的
【作 者】
:
朱昊
秦明
黄庆安
【机 构】
:
东南大学
【出 处】
:
测控技术
【发表日期】
:
2003年4期
【关键词】
:
电路集成
硅热流量传感器
CMOS
电路芯片
集成电路
敏感元件
flow sensorMEMSCMOS compatible
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将传感器与电路集成在同一个芯片上具有体积小、噪声小等优点,因而收到了广泛的重视.本文介绍了硅热流量传感器的基本原理及发展状况,并针对电路和传感器集成的过程中出现的问题进行了探讨,对该类传感器的设计有一定的参考价值.
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