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本文主要述评了光学光刻技术在０．３５μｍ工艺向０．２５μｍ工艺阶段转移的技术革命中所面临的挑战，以及远紫外光刻所处的地位，现状及今后的发展趋势。
远紫外光刻现状及未来
【摘 要】
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本文主要述评了光学光刻技术在０．３５μｍ工艺向０．２５μｍ工艺阶段转移的技术革命中所面临的挑战，以及远紫外光刻所处的地位，现状及今后的发展趋势。
【机 构】
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电子工业部第四十五研究所,744000
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1997年2期
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