大幅提高ЭМ-5009Б激光图形发生器的曝光速率

来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hahabiaoren

【摘要】

：

根据ЭМ－５００９Б激光图形发生器的工件台运动方式，介绍一种大幅度提高该设备曝光速率的方法 According to ЭМ-5009Б laser pattern generator table motion mode, introduced

【作者】

：

田振文刘贵增王维军

【机构】

：

电子十三所!石家庄050051,电子十三所!石家庄050051,电子十三所!石家庄050051

【出处】

：

半导体情报

【发表日期】

：

1999年05期

【关键词】

：

图形发生器格式文件铬版分割法电子部件微电子行业转换软件投影系统计算机总线电源系统

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根据ЭМ－５００９Б激光图形发生器的工件台运动方式，介绍一种大幅度提高该设备曝光速率的方法 According to ЭМ-5009Б laser pattern generator table motion mode, introduced a substantial increase in the exposure rate of the device method

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