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提出了一种基于北京大学硅玻璃键合深刻蚀释放工艺的扩展工艺，用来加工微型隧道加速度计，采用HP4145B半导体分析仪在大气环境下对所加工的器件进行了开环测试，验证了隧道电流的存在以及隧道间隙与隧道电流之间的指数关系，实验结果外推出的隧道势垒的范围为1．182～2．177eV。大部分器件的开启电压在14～16V之间，在-1，0和+lg三种状态下对开启电压分别进行了测试，得到加速度计的灵敏度约为87mV／g。