【摘 要】
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通过建立固态装配谐振器（SMR）模型,考虑硅衬底的声学损耗,从压电理论出发,仿真分析了不同布喇格层数对SMR的谐振性能的影响。仿真结果表明,由于布喇格层对声波的有效反射,减少
【机 构】
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深圳大学广东省光电子器件与系统重点实验室光电子器件与系统教育部重点实验室
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通过建立固态装配谐振器（SMR）模型,考虑硅衬底的声学损耗,从压电理论出发,仿真分析了不同布喇格层数对SMR的谐振性能的影响。仿真结果表明,由于布喇格层对声波的有效反射,减少了声能在衬底的损耗和衬底造成的杂散谐振,使SMR的品质因数得到很大提高;用Si3N4和SiO2作为布喇格层材料,要得到较好的品质因数,布喇格层对数至少要3对;另外,布喇格层厚度稍有偏差,也能使谐振频率处有较高的反射率,获得较好的品质因数。
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