【摘 要】
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本文提出用SnCl_2·2H_2O或SnCl_4·5H_2O作固态源进行低温化学汽相淀积SnO_2薄膜.文中分析了影响SnO_2薄膜电学性质的有关因素,测定了SnO_2薄膜在可见光和红外波段的透射率,
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本文提出用SnCl_2·2H_2O或SnCl_4·5H_2O作固态源进行低温化学汽相淀积SnO_2薄膜.文中分析了影响SnO_2薄膜电学性质的有关因素,测定了SnO_2薄膜在可见光和红外波段的透射率,并讨论了SnO_2薄膜的淀积反应和掺杂问题.
In this paper, SnO_2 · 2H_2O or SnCl_4 · 5H_2O as the solid state source for the low temperature chemical vapor deposition of SnO_2 thin film.In this paper, the factors that affect the electrical properties of SnO_2 thin films were analyzed, the transmittance of SnO_2 thin films in the visible and infrared bands were measured and discussed Deposition reaction and doping of SnO_2 thin films.
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