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为研究不同工艺参数对多弧离子镀制备TiAlN涂层性能的影响规律,设计了L9（3~4）正交试验表,并通过试验研究了弧电流、衬底负偏压、氮气/氩气流量比以及腔体压强对涂层Al含量和硬度的影响规律,得到了最佳工艺参数优化组合。结果表明：影响Al含量的因素按重要性排序依次是：腔体压强、氮气/氩气流量比、衬底负偏压、弧电流。影响涂层硬度的因素按重要性排序依次是：弧电流、氮气/氩气流量比、腔体压强、衬底负偏压。