【摘 要】
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文章针对半导体制造设备中Cassette在Loader和Unloader模块中的传接片工作原理,设计了一种基于PLC控制,以编码条和光电传感器定位,直流电机和丝杆驱动的传片装置.该装置安装
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十四所,重庆,400060
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文章针对半导体制造设备中Cassette在Loader和Unloader模块中的传接片工作原理,设计了一种基于PLC控制,以编码条和光电传感器定位,直流电机和丝杆驱动的传片装置.该装置安装调试简便,工作稳定可靠,具有较高的通用性和扩展性,便于半导体设备Loader和Unloader组件的快速开发和改造升级使用.
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