【摘 要】
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研究了CVD法制备高纯钛过程中杂质铁的行为;通过对卤化亚铁的相关热力学计算,分析了卤化亚铁的合成与分解条件。研究结果表明,最佳卤化温度为800~1 000K,最佳裂解沉积温度为1
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研究了CVD法制备高纯钛过程中杂质铁的行为;通过对卤化亚铁的相关热力学计算,分析了卤化亚铁的合成与分解条件。研究结果表明,最佳卤化温度为800~1 000K,最佳裂解沉积温度为1 400~1 650K,在此温度范围内,不仅可高效生产高纯钛,还可有效抑制杂质铁带来的二次污染。
The behavior of impurity iron during the CVD process of high purity titanium was studied. The conditions for the synthesis and decomposition of ferrous halide were analyzed by the relevant thermodynamic calculation of ferrous halide. The results show that the best halogenation temperature is 800 ~ 1 000K and the optimum pyrolysis temperature is 1 400 ~ 1 650K. In this temperature range, not only high purity titanium can be efficiently produced, but also the second Pollution.
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