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采用ＳＥＭ，ＴＥＭ对金刚石膜－硬质合金基体横截面的形态进行了研究，探讨了甲烷含量对ＣＶＤ金刚石膜－基横截面各组织层次的影响。结果表明，经化学侵蚀脱钴和等离子体刻蚀脱碳预处理的ＹＧ８硬质合金基体上所沉积的金刚石膜－基横截面组织的典型层次依次为：金刚石／薄的石墨碳中间层／细小的ＷＣ层／残留的脱碳层／残留的疏松层／ＹＧ８原始基体，甲烷含量对ＣＶＤ金刚石膜－基横截面各组织层次的形成有显著的影响。