【摘 要】
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本文根据螺线管线圈内部磁场的分布规律,以及磁场对等离子体内部电子的作用原理,设计了磁场辅助的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统,并且研究了在PECVD系统中获得均匀磁
【机 构】
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中国科学院固体物理研究所,中国科学院固体物理研究所,中国科学院固体物理研究所,中国科学院固体物理研究所 安徽合肥230031,安徽合肥230031,安徽合肥230031,安徽合肥230031
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本文根据螺线管线圈内部磁场的分布规律,以及磁场对等离子体内部电子的作用原理,设计了磁场辅助的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统,并且研究了在PECVD系统中获得均匀磁场的方法。而后,以SiH4和N2为反应气体,在低气压下沉积了SiN薄膜。测量了SiN薄膜的沉积速率,折射率,表面形貌等参数。验证了磁场分布的均匀性,分析了磁场在等离子体增强化学气相沉积系统中的作用。
In this paper, magnetic field-assisted plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) system is designed according to the magnetic field distribution inside the solenoid coil and the action principle of the magnetic field on the internal electrons of the plasma. A uniform magnetic field method. Then, SiH4 and N2 as a reaction gas, a low pressure deposited SiN film. The SiN thin film deposition rate, refractive index, surface morphology and other parameters were measured. The uniformity of the magnetic field distribution was verified and the effect of the magnetic field in the plasma enhanced chemical vapor deposition system was analyzed.
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