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根据传热学理论分析了内含缺陷和脱粘的材料表面温差,给出了键合硅片表面温差与缺陷的深度、厚度及加热时间之间关系的计算结果,介绍了利用红外热像仪检测材料内部脱粘的方法.
材料内部脱粘的红外无损检测
【摘 要】
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根据传热学理论分析了内含缺陷和脱粘的材料表面温差,给出了键合硅片表面温差与缺陷的深度、厚度及加热时间之间关系的计算结果,介绍了利用红外热像仪检测材料内部脱粘的方法
【机 构】
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东南大学
【出 处】
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红外技术
【发表日期】
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2001年3期
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