【摘 要】
：
扫描电子束曝光是微细图形加工中的一项核心技术.它既是远紫外、X-射线、投影电子束光刻制备微米、亚微米精细掩模的主要手段,也是在硅片上直接加工微细图形的重要光刻技术
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所
论文部分内容阅读
扫描电子束曝光是微细图形加工中的一项核心技术.它既是远紫外、X-射线、投影电子束光刻制备微米、亚微米精细掩模的主要手段,也是在硅片上直接加工微细图形的重要光刻技术之一,并且具有高分辨率、高精度和自动化等优点.但是电子束光刻过程,一
Scanning Electron Beam Exposure is one of the core technologies in micro-patterning, which is the main method for preparing micron and sub-micron fine masks by far-UV, X-ray and projection electron beam lithography. One of the important lithography technology, and has the advantages of high resolution, high precision and automation, etc .. However, electron beam lithography process, a
其他文献
海南省实行办理业务咨询工作制度海南省纪委、监察厅案件审理室近年来制定实施了办理业务咨询工作制度。该制度明确了业务咨询的受理范围,并规定:办理人员对所咨询的问题,在
本文介绍了无因次齿轮轮齿的概念,用以使齿轮应力为最小的问题。与现有的其他方法比较,本质上减少了许多设计变量,所推荐的模型方法明显缩短了计算时间。代替承载齿轮轮齿模
宁夏陶乐县被撤销,600多名干部分流各地。干部们调走了,县城经济竟随之崩塌,餐饮、服务、维修、百货各业一片萧条,有的店铺干脆关门。撤县之痛引出了一个尴尬话题:公款消费竟
浪漫青春 Action 1凭借迪斯尼火爆一时的电视电影《歌舞青春》成功上位,并在今年暑期出演了卖座歌舞片《发胶》的美国新兴偶像扎克·埃弗隆即将主演新线公司的爱情电影《浪
《樱野3+1》是很多人的梦想,因为《王子与青蛙》留给我们太多美好的回忆。不过叶天瑜已经不是那个叶天瑜,她成了很有侠女风范的夏天;单均昊也没有了“孤傲”的气质,变成了有
峥嵘岁月80载,不忘人民养育恩。为大力宣扬人民群众爱国拥军的先进事迹,人民日报、解放军报联合主办了“感谢人民——激励军营80年”十大爱国拥军新闻人物评选活动。在候选名
对激光技术广泛使用的磷酸二氢钾(KDP)和磷酸二氘钾(DKDP)电光晶体另件加工的基本要求是获得的抛光表面缺陷要最少。根据对晶体损伤提出的热电子机理得出,为了提高表面的抗
本文介绍了测量HgCdTe、InSb光生伏特红外探测器零偏压结阻抗常用的两种测试方法“直流法”和“交流法”,以及我们在这两种方法的基础上提出的“交直流法“和“玻莫合金变压
汇集名流名士的高校里,喜欢打架但重情重义的警视厅总监的儿子松竹梅魅录,大医院院长的儿子,文武双全的学生会长菊正宗清四郎、世界大财团的女儿.拥有超人的运动神经和开朗
一、引言 长期以来,氧化物阴极基金属一般都采用镍镁、镍硅等镍合金。但用它们作直热式阴极时,在强度和热变形等方面都不能很好满足要求,如用在直热式发射管FD-422中,就常出