【摘 要】
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今年4月18日,中国科学院光电技术研究所承担的中国科学院“九五”重大科研项目“微电子专用设备”的0.35μm分频重复投影光刻关键单元技术研究”课题,在北京顺利通过中国科学
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今年4月18日,中国科学院光电技术研究所承担的中国科学院“九五”重大科研项目“微电子专用设备”的0.35μm分频重复投影光刻关键单元技术研究”课题,在北京顺利通过中国科学院主持的专家评审验收。由清华大学、信息产业部708厂、山东工业大学、北京大学、信息产业部700厂、中
April 18 this year, the Chinese Academy of Sciences Institute of Optoelectronic Technology, Chinese Academy of Sciences, “Ninth Five-Year” major scientific research project “Microelectronics Special Equipment” 0.35μm repetitive projection lithography critical cell technology research project "in Beijing successfully passed China Academy of Sciences presided over the assessment of expert acceptance by the Tsinghua University, 708 Ministry of Information Industry, Shandong University of Technology, Peking University, Ministry of Information Industry 700 plants,
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