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【摘 要】
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介绍了工作频率在约为10GHz的UHF频段,可产生梳谱信号的高次谐波声体波谐振器(HBAR)的原理、设计和制作工艺方法。设计了Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au双端结构的谐振
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十六研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2015年06期
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