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本文介绍适用子精密大型测试仪器──坐标测量机的激光非接触式测头的研制。该测头采用ＰＳＤ作为敏感元件并采用单片机技术完成对测量数据的处理。
坐标测量机激光非接触式测头的研制
【摘 要】
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本文介绍适用子精密大型测试仪器──坐标测量机的激光非接触式测头的研制。该测头采用ＰＳＤ作为敏感元件并采用单片机技术完成对测量数据的处理。
【机 构】
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合肥工业大学精仪系
【出 处】
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现代计量测试
【发表日期】
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1994年5期
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