【摘 要】
：
一、引言 硅片上厚度在100以下的超薄氧化层在一些半导体器件的制造中起关键作用。随着超大规模集成电路的发展。它越来越受到人们的重视。在这一领域进行探索,对Si-SiO_2
论文部分内容阅读
一、引言 硅片上厚度在100以下的超薄氧化层在一些半导体器件的制造中起关键作用。随着超大规模集成电路的发展。它越来越受到人们的重视。在这一领域进行探索,对Si-SiO_2界面性质的研究也有重要意义。超薄氧化层的制备首先要求提供一种方便、精确、非破坏性的,能测量低到几埃介质膜厚的仪器和技术。椭园偏振仪
I. INTRODUCTION The ultra-thin oxide layer below 100 硅 on silicon wafers plays a key role in the fabrication of some semiconductor devices. With the development of VLSI. It is more and more people's attention. In this area to explore, on the Si-SiO 2 interface properties of great significance. The preparation of ultra-thin oxide layers first required the provision of a convenient, accurate and non-destructive instrument and technique capable of measuring film thicknesses as low as several Angstroms. Elliptical Polarimeter
其他文献
企业Company百时美-施贵宝获得pancerate全球研发及市场推广权百时美-施贵宝近期与CureDM签署了一份协议,该协议授予百时美-施贵宝公司在全球范围内研发与推广pancreate的唯
为贯彻全国五部委通知精神，认真开展好今年全国安全生产月宣传活动，紧紧围绕“实施安全生产法，人人事事保安全”的主题，市委宣传部、安监局、总工会、广电局、团市委联合发文，成立了市“全国安全产月”活动领导小组，对全市组织开展“全国安全生产月”宣传活动就拉开了帷幕。在《三明日报》上陆续刊登市长、县长安全生产经验谈文章，中旬还将在报上刊登安全生产知识有奖竞赛试题，开展全社会安全生产知识普及教育，并在电视上进
应用半经验的AM1和密度泛函B3LYP/6-31G*方法对1,3-丁二烯与C59XH(X=N,B)Diels-Alder环加成反应的区域选择性进行理论研究,选择一些有代表性的C59XH(X=N,B)的6—6键探讨环加
1998年5月10日下午,我们陈云纪念馆筹备组成员拜访了原全国政协副主席、军委副秘书长、志愿军副司令员洪学智将军。洪老在自己的寓所里热情地接待了我们,他先带我们参观了寓
改革开放以来,我国的经济建设取得了举世公认的成就,但经济增长方式比较粗放,实现经济快速增长付出的代价过大。十七大报告在全面把握我国经济发展规律的基础上,从当前的发展
2月28日下午4时刚过,北京亚运村奥体中心内一工地突发大火,失火现场滚滚黑烟从工地大棚中冒出,在2000米外的安贞桥上都能看清楚。大火基本灭掉后,记者观察到,大火已将离地10
接到“新青年”数学同行们的参会邀请我是很高兴的,觉得这是一个向年轻人学习的极好机会.那么,我来学什么呢?我想从会议的标题来说说我的专业期待,标题“第四届全国新青年数
电视机中视频检波器的输入信号u中为中频信号电压,它包括影象中频信号(也称为中频的视频信号)u中1和伴音中号频信u中2,已知u中1可近似写为:(?)
TV signal in the video det
标点符号,正式作为汉语书面语言的组成部分,在中国还不到一个世纪。随着清末以来中外文化交流日益密切,在汉语中使用统一的标点符号成为一种必然趋势。中国古代的书面语言没
Hg_(1-x)Cd_xTe的可见光穿透深度只有500(?)左右,所以用调制光谱来研究这种材料的表面是一种很有效的方法。由于MOS器件比较难做,目前Hg_(1-x)Cd_xTe电反射一般在室温电解液