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用于半导体生产线排程的仿真数据量大,来源格式多样,数据结构也差别较大,如何高效的处理这些异构源数据,是实现计算机控制半导体生产过程,提高仿真效率的关键技术之一.本文提出使用在建立数据仓库中的关键技术ETL,来处理半导体生产线的排程仿真数据.文中简要介绍了ETL技术的相关概念,ETL的基本实现过程,最后通过实例来阐述ETL在处理半导体生产线排程仿真数据的应用.