【摘 要】
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本文探讨衍射计量中用记录固定点衍射强度来接收信号时固定点位置的选择。作者提出应选择在Sinθ=(n±1/4)λ/ω处,且n取小值为好。
This article explores the choice of t
【机 构】
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华中理工大学,华中理工大学,华中理工大学,
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本文探讨衍射计量中用记录固定点衍射强度来接收信号时固定点位置的选择。作者提出应选择在Sinθ=(n±1/4)λ/ω处,且n取小值为好。
This article explores the choice of the location of the fixed point for receiving signals using the diffraction intensity at the recording fixed points for diffraction metrology. The authors suggest that it should be chosen at Sinθ = (n ± 1/4) λ / ω, and it is better to take a small value of n.
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