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半导体氢传感器的气敏材料在工作过程中需要较高的工作温度,工作温度的不同对测量精度和响应时间也有一定的影响。采用以掺杂贵金属的Sn O2为气敏材料的氢传感器,考察其在不同温度下对不同浓度氢气的测量情况,研究氢传感器的工作温度特性。
半导体氢传感器工作温度特性
【摘 要】
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半导体氢传感器的气敏材料在工作过程中需要较高的工作温度,工作温度的不同对测量精度和响应时间也有一定的影响。采用以掺杂贵金属的Sn O2为气敏材料的氢传感器,考察其在不同温度下对不同浓度氢气的测量情况,研究氢传感器的工作温度特性。
【机 构】
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中国工程物理研究院总体工程研究所
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2018年11期
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