【摘 要】
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在钛合金基体上，利用双层辉光离子渗金属技术，以纯铝作为源极，氩气为工作气体，利用不等电位空心阴极效应，进行渗铝正交试验工艺研究。用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）观察分
【机 构】
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太原理工大学理学院,北京石油化工学院机械工程学院
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在钛合金基体上，利用双层辉光离子渗金属技术，以纯铝作为源极，氩气为工作气体，利用不等电位空心阴极效应，进行渗铝正交试验工艺研究。用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）观察分析了钛铝合金渗层的截面形貌和相结构。结果表明，工艺参数对渗铝层的厚度有较大影响，并确定了最佳工艺参数为源极电压750V，工件电压280V，气压35Pa，极间距20mm。
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