【摘 要】
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八二年五月随仪表总局半导体光学设备考察组赴美国考察,参观了美国西部半导体设备和材料展览会及若干半导体器件制造和设备制造公司,本文报导了美国在投影光刻机、X射射光刻
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八二年五月随仪表总局半导体光学设备考察组赴美国考察,参观了美国西部半导体设备和材料展览会及若干半导体器件制造和设备制造公司,本文报导了美国在投影光刻机、X射射光刻机的发展情况,还介绍了一些光学检测设备的型号规格等技术参数。
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