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期刊论文
硅材料生产中污水的处理及综合利用
硅材料生产中污水的处理及综合利用
来源 :信阳师范学院学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhpf
【摘 要】
:
本文处理的是高含Cr^+6,HF及NO3等有毒、腐蚀性经的污水。采用把多晶硅和单晶硅腐蚀液分别惧要单独进行处理。这样废液体积小,浓度大便于处理回收。污水处理后有害物质含量远优于国家标准
【作 者】
:
闫盼升
【机 构】
:
信阳市环境监测站
【出 处】
:
信阳师范学院学报:自然科学版
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
多晶硅
单晶硅
硅
制备
废水处理
综合利用
POlycrystalline silicon
Monocrystalline silicon
COrrosiv
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本文处理的是高含Cr^+6,HF及NO3等有毒、腐蚀性经的污水。采用把多晶硅和单晶硅腐蚀液分别惧要单独进行处理。这样废液体积小,浓度大便于处理回收。污水处理后有害物质含量远优于国家标准,而且所用设备简单,原料便宜易得。
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