硅材料生产中污水的处理及综合利用

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本文处理的是高含Cr^+6,HF及NO3等有毒、腐蚀性经的污水。采用把多晶硅和单晶硅腐蚀液分别惧要单独进行处理。这样废液体积小,浓度大便于处理回收。污水处理后有害物质含量远优于国家标准,而且所用设备简单,原料便宜易得。
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