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采用双层辉光离子渗金属技术在２０钢上进行镍铬共渗处理，对合金元素的溅射和吸收这两个渗金属过程，从放电及溅射等理论角度并结合试验结果进行了分析讨论。结果表明，放电条件对渗层形成效率有很大影响，合金元素的利用率在不同的放电参数下会有悬殊的变化。溅射量决定于溅射电压与气压，利用率则受工件偏压，气压，极间距的共同控制。在一定的溅射量下，利用率的高低决定了渗层质量及形成效率。提高合金元素的利用率是工艺参数造